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    精密測量儀器輪廓測量儀的小常識
    更新時間:2013-08-29   點擊次數:3083次

    ■跟蹤角度

    下降 上升
    相對探針的進給方向,探針可以按照測量物的形狀上升或下 降的極限角度叫做跟蹤角度。探針頂端角度為 12°的切面探 針 (圖) 時,上升角度 77°,下降角度 87°,如果是圓錐形探針
    (30°圓錐) 的話,極限傾斜度會變得緩和。表面上看雖然是 77°, 但是,受上行斜面表面粗糙度的影響,會部分存在 77°以上 的斜面,測力也會受到影響。
    ■探針半徑補正
    根據探針的頂端半徑 (0.025mm),記錄圖形會成為在測量物表 面上滾動的球體的中心軌跡。通過對這一探針的頂端半徑進 行數據處理上的補正,可以得到的測量值和形狀記錄。
    探針
    記錄圖形
    測量物的輪廓
    r:  探針半徑
    M:測量倍率
    用記錄計從模板和刻度上讀取輪廓形狀時,需要根據測量倍 率預先補正測頭半徑值。
    ■圓弧變形
    測頭做圓弧運動時,會在記錄圖形的 X 軸方向上出現變形誤 差。補正圓弧變形的手段有
    ①機械補正方法
    ②電子補正方法
    ■精度
    與模擬記錄計的全刻度作比較,多用 ±% 來表示。
    (例) 倍率精度 (精度)   Z 軸 ±0.25% /全刻度
      A3 模擬記錄
      (250mm 是 A3 復印紙的縱向長度)
    假 設 記 錄 紙 上 誤 差 為 ±0.625mm, 測 量 倍 率 為 10 倍, 那 么, 讀取值則為 0.625mm/10。
    ※如果是用數據處理裝置進行解析,并且 Z 軸檢測裝置上內
    置光柵尺的機型 (CV-H, CV 系列),那么倍率精度的顯示就不是 百分比,而是光柵尺 (X 軸、Z 軸) 各自的指示精度。
    ■安全裝置 由于輪廓形狀的斜面角度大或者有毛刺存在,探針頂端出現 超負荷時,為了防止探針損傷,可以自動停止運轉,并發出 蜂鳴警報。一般按進給方向 (X 軸方向) 的負荷和上下方向 (Z 軸方向) 的負荷分別裝備。
    ■圓弧運動、直線運動 這是探針上下動作時,測頭劃出的軌跡,有圓弧和直線兩種。 做直線運動時,機械構造復雜,做圓弧運動時,探針的上下 移動量較大,會由于圓弧變形 (    ) 而導致記錄圖形出現誤差。
    (參照左下圖)
    ■ Z 軸檢測方式
    X 軸驅動檢測一般使用數字光柵尺進行檢測。Z 軸檢測方式有 模擬方式 (差動變壓器) 和數字光柵尺方式兩種。
    模 擬 方 式 中,Z 軸 分 辨 率 會 隨 測 量 倍 率 和 測 量 范 圍 而 變 化。 數字光柵尺方式隨光柵尺的分辨率。一般來說,數字光柵尺
    方式精度較高。
    探針
    測量臂
    支點
    圓弧變形
    ③有通過軟件演算來補正的方法。在對上下方向上移動量較大
    的測量物進行高精度測量時,需要補正圓弧變形。

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